演講快訊

2023
05.26

精密半導體製程良率的幕後功臣_微汙染控制方案與實務介紹

游婷芳 研發經理

時間:2023年05月26日 (五) 15:10
主持人:龔仲偉 教授
講者:游婷芳 研發經理
服務單位:鈺祥企業
講題:精密半導體製程良率的幕後功臣_微汙染控制方案與實務介紹
地點:93456

摘要 :

隨著先進半導體製程不斷演進,線寬的微縮與維持高的良率的要求使半導體產業面臨艱鉅的挑戰,而看不見的隱形殺手-AMC空氣中的氣相分子汙染物已被證實對於晶圓不同道製程的圖形缺陷、deffect甚至於電性都扮演著極為關鍵的角色,本次的演講將會為各位介紹目前在先進製程端所面臨AMC防治污染的現況、並綜合學業研究與業界實際的回饋介紹鈺祥公司提供的微汙染控制服務,以及面對大環境對企業ESG的需求,在對於被歸類為”耗材”的濾網產業公司因應的對策,提供學生銜接業界需求思想的橋樑,也可做為日後自身職涯思考的省思。

學經歷 :

2011-2015   成功大學 化工系畢業

2017          台灣積體電路製造公司 奈米微影製程 實習生

2017-2019  成功大學 化工所畢業

2019-2020  台灣積體電路製造公司 奈米微影製程 工程師

2020-2021  鈺祥企業股份有限公司 研發工程師

2021至今    鈺祥企業股份有限公司 研發經理